青岛华旗科技有限公司
企业简介
    青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年)位于青岛空港工业园,紧邻青岛流亭国际航空港。占地约15000 平方米,建筑面积约21000平方米。 华旗科技为专业的半导体材料、IC器件工艺、新材料工艺(成套)设备及解决方案的高科技研发制造企业。服务于新能源、新材料及环境保护产业。致力于为IC器件、太阳能电池、LED照明、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备(含成套设备及解决方案)。工艺(成套)设备包括薄膜、外延、晶体生长、精密真空热处理、配气系统及废气处理等。 核心工艺设备为薄膜工艺:LPCVD、PECVD、氧化扩散系统等。外延:MOCVD(研发型)等。晶体生长:VGF/VB、 HGF/HB等、HVPE、PVT等。精密真空热处理:单室、双室(多室)真空炉、RTP、传统管式炉等。配气系统:气瓶柜/ 气瓶架、配气柜、气源柜、阀门箱、二次配管等。SCRUBBER(废气处理):湿法、湿法 燃烧等。 出色地完成了部分863项目(如GaN厚膜生长的HVPE系统、MOCVD系统等)。 通过GB/T19001-200(ISO9001:2000)质量管理体系认证。
青岛华旗科技有限公司的工商信息
  • 370214230023837
  • 91370214697159379Q
  • 在营
  • 有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 2009-11-24
  • 刘洋
  • 1000万
  • 2009-11-24 至 永久
  • 青岛市城阳区工商行政管理局
  • 青岛市城阳区流亭街道双元路西
  • 生产、制造:半导体材料工艺设备、真空热处理工艺设备、气体处理工艺设备。房屋租赁。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
青岛华旗科技有限公司的专利信息
序号 公布号 发明名称 公布日期 摘要
1 CN204594194U 立式真空烧结炉炉体真空室升降机构 2015.08.26 本实用新型涉及一种立式真空烧结炉炉体真空室升降机构,包括支撑炉体的炉体支撑板和固定连接在真空室上的定
2 CN204584271U 卧式真空烧结炉手套箱 2015.08.26 本实用新型涉及一种卧式真空烧结炉手套箱,包括密封的箱体,箱体内充入氮气或氩气,箱体顶部设置上进气管阀
3 CN204555700U 多段高精度实时监测控温系统料舟 2015.08.12 本实用新型涉及一种多段高精度实时监测控温系统料舟,包括底板和侧板,所述底板和侧板上均匀开有通气孔,侧
4 CN204555671U 一种高可靠性的封管炉 2015.08.12 本实用新型涉及一种高可靠性的封管炉,包括炉体,炉体内设置加热体,加热体包括设置在炉体内壁上的环形加热
5 CN204555705U 卧式真空烧结炉冷却结构 2015.08.12 本实用新型涉及一种卧式真空烧结炉冷却结构,包括盛放磁性材料的真空室和水箱,所述真空室外侧设置一个环形
6 CN204555644U 真空烧结炉的真空室安装结构 2015.08.12 本实用新型涉及一种真空烧结炉的真空室安装结构,包括真空室,所述真空室外部设置一个抽真空的外腔,所述真
7 CN204555645U 一种真空烧结炉 2015.08.12 本实用新型涉及一种真空烧结炉,包括真空室,所述真空室外部设置一个抽真空的外腔,所述真空室外表面设置保
8 CN204555696U 真空烧结料杆冷却装置 2015.08.12 本实用新型涉及一种真空烧结料杆冷却装置,包括料杆和连接在料杆上跟随料杆运动的进水管和出水管,所述进水
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